11月11日，华中科技大学刘世元教授在上海大学微电子学院开展了题为“集成电路IC制造在线量测检测技术与装备：现状、挑战、进展”的讲座，微电子学院执行院长张建华教授进行主持。

刘世元教授现任华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任，是华中科技大学机械学院和光电学院双聘教授。刘教授是国家级高层次人才、国际测量与仪器委员会委员、中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长，主要研究方向为纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造量测检测技术与装备、计算光刻成像理论与应用。

报告首先介绍了IC制造在线量测检测技术的研究现状，在此基础上分析了先进技术节点量测检测面临的新挑战，最后介绍了课题组近年来在相关研究中的研究进展。报告后，刘世元教授与微电子学院师生进行了深入的交流，并对后续研究合作展开了探讨。

（撰稿：李浩源；摄影：耿钰博）